納米真空互聯實驗站二期項目通過專家組“工藝分項驗收”
11月26日上午,納米真空互聯實驗站“二期工藝分項驗收會議”在蘇州納米所上善苑召開。來自蘇州大學孫立寧教授、中科院大連化物所傅強研究員、中科院長春光機所劉雷研究員、中北大學丑修建教授、量子科技長三角產業創新中心欒添高級工程師的五位專家組成工藝驗收專家組,對納米真空互聯實驗站二期驗證項目的工藝設備和工藝指標進行了現場鑒定和驗收。
驗收專家組首先聽取了二期項目《工藝驗收報告》和《科研進展報告》匯報,接著審閱了《工藝驗收大綱》、《工藝驗收報告》等相關資料,并進行了現場考察,經過質詢和討論,認為:該項目建設全面完成了合同規定的研究內容,達到了合同要求的技術指標,同意通過工藝驗收。同時建議持續加大投入,加強高端裝備自主研發,注重服務國家重大工程和區域特色經濟發展,發揮國家重大科技平臺戰略作用。
納米真空互聯實驗站二期建設項目由中國科學院、江蘇省、蘇州市、蘇州工業園區四方投資建設。目前實驗站實現了近40套大型工藝設備真空互聯,形成了五大功能模塊:材料制備與工藝模塊、微觀機理模塊、跨尺度光電測試模塊、氣氛可控模塊以及真空互聯管道控制模塊???/span>滿足多功能材料體系和異質結的集成開發,器件工藝制備和原位多參量本征物性表征等,覆蓋時間、空間和能量高分辨表征技術。面向全球高校、研究機構和高科技企業開放,在電子信息材料、量子材料、納米能源與催化材料、高溫超導材料、有機半導體材料及新興納米材料等先進材料和核心器件方面建立了有國際影響的科技創新能力。已吸引220家國內外用戶到實驗站開展研究工作,發表文章超過250篇,已申請專利246項,納米材料與器件的真空互聯變革性技術路線已受到國際的廣泛認可。
納米真空互聯實驗站將進一步面向國家戰略需求和科學前沿,解決低維材料表/界面科學問題和器件真空互聯原位制造變革性技術等重大科學問題,力爭納入國家重大科技基礎設施,為“新原理、新材料、新器件”等原創性研究提供重要建制化、體系化支撐。
領導專家合影
會議現場
現場調研
上善苑外觀圖
實驗大廳現場圖
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